OHS System

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P/L/S/P/E/C
OHS = Over Head Shuttle

정의

  • FAB 공정의 Glass & Cassette를 천장에 설치된 Rail을 따라 각 공정의 Port로 Vehicle을 사용하여 반송하는 System
  • Vehicle이 이동하는 Rail, Vehicle 유지보수를 위한 MTL 및 Vehicle과 각 공정별 입출입을 하는 PNP로 구성되어 고속으로 다량의 물류를 안정적 반송

용도 및 기능

  • FAB 공정의 공정간 Glass & Cassette 천장 반송 System

특징

  • FAB 공간 활용을 위한 천장 반송 (하부 공정설비 설치 가능)
  • 고속 정숙운전, 청정유지관리(고 청정을 위한 비접촉 전원 공급장치)
  • 제품 ID 통합정보 관리

Systems

FAB 공정의 Glass & Cassette를 천장에 설치된 Rail을 따라 Vehicle이 각 공정의 Port로 반송하는 System
FAB 공정의 Glass & Cassette를 천장에 설치된 Rail을 따라 각 공정의 입출입 Port로 Vehicle을 사용하여 반송하는 System

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